光刻機用低溫冷水機組操作者可對設備運行過程中的相關故障以及解決辦法做一定的了解，以便更好的使用光刻機用低溫冷水機組，那么其故障原因是怎么樣的呢？

　　1、制冷劑泄漏：

　　系統(tǒng)中制冷劑泄漏后制冷量不足，吸、排氣壓力低，蒸發(fā)器不掛霜或掛角少量的浮霜，若調(diào)大膨脹閥孔，吸氣壓力仍無大變化，停機后系統(tǒng)內(nèi)平衡壓力一般低于相同環(huán)境溫度所對應的飽和壓力。

　　排除方法：制冷劑泄漏后不能急于向系統(tǒng)內(nèi)充灌制冷劑，而應立即查找滲漏點，經(jīng)修復后在填充制冷劑。

　　2、維修后充灌制冷劑過多：

　　維修后的制冷系統(tǒng)中充灌的制冷劑量超過系統(tǒng)的容量，制冷劑就會占去冷凝器一定的容積，減少散熱面積，使其制冷效果下降，出現(xiàn)吸、排氣壓力普遍高于正常的壓力值，蒸發(fā)器結(jié)霜不實，光刻機用低溫冷水機組降溫慢。

　　排除方法：按操作程序，須停機幾分鐘后在高壓截止閥處放出多余的制冷劑，此時也能將系統(tǒng)中的殘余空氣一并放出。

　　3、制冷系統(tǒng)內(nèi)有空氣：

　　空氣在制冷系統(tǒng)中會使制冷效率降低，突出的現(xiàn)象時吸、排氣壓力升高（但排氣壓力還未超出額定值），壓縮機出口至冷凝器處溫度明顯增高，由于系統(tǒng)內(nèi)有空氣，排氣壓力、排氣溫度都升高。

　　排除方法：可以在停機后幾分鐘后，連續(xù)幾次從高壓截止閥放出空氣，還可以根據(jù)實際情況適當充灌一些制冷劑。

　　4、蒸發(fā)器表面結(jié)霜過厚：

　　長期使用的冷庫蒸發(fā)器要定時化霜，如不化霜，蒸發(fā)器管路上霜層越積越厚，當把整個管路包住成透明冰層時，將嚴重影響傳熱，致使光刻機用低溫冷水機組溫度降不到要求的范圍內(nèi)。

　　排除方法：停機化霜，切勿用鐵器、木棒等敲擊霜層，以防損壞蒸發(fā)器管路。

　　5、蒸發(fā)器管路中有冷凍油：

　　在制冷循環(huán)過程中，有些冷凍油殘留在蒸發(fā)器管路內(nèi)，經(jīng)過較長時間的使用，蒸發(fā)器內(nèi)殘留油較多時，會嚴重影響其傳熱效果，出現(xiàn)制冷差的現(xiàn)象。

　　排除方法：清除蒸發(fā)器內(nèi)的冷凍油。將蒸發(fā)器拆下來，進行吹洗后再烘干。

　　光刻機用低溫冷水機組在發(fā)生液擊故障之后，操作者或者使用人如不能及時解決，請聯(lián)系廠家進行解決。